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智微科技高性能SERS检测芯片日产十万片中试线

来源:山东智微科技 时间:2022/02/14 作者:拉曼小能手


          2021年12月,山东智微检测科技有限公司已经成功建成日产十万片的“高性能SERS检测芯片”生产线,该生产线包括了所有的核心工艺流程,包括:预处理、掩膜、光刻、热蒸发、晶圆封装、划片分割、芯片封装等,工艺基本实现全自动化。可依据客户需求,定制所需的尺寸、结构、性能,并实现批量供货。

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